小蓝鸟海外加速器 在半导体材料的市场占比中,电子特气占14%,成为仅次于硅片的第二大半导体材料市场。业内指出,电子特气的需求在2023年年内或将在集成电路、面板、光伏三大支柱产业的支持下完成逆转提升。 电子特种气体被称作工业气体“王冠上的明珠”,同时,作为半导体制造的关键材料,也被誉为半导体产业的“血液”,会直接影响半导体产品的性能,被广泛应用于清洗、光刻、刻蚀、掺杂、外延沉积等工艺中。在集成电路晶圆制造过程中,电子特气的使用占比接近14%,系仅次于硅片的第二大耗材。电子气体应用广泛,对技术要求很高,对于气源及其供…